光學3D輪廓測量顯微鏡

光學3D輪廓測量顯微鏡本系統軟件采用的位移矯正和邊緣識別，邊緣修正技術，可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍（光學<2000X.視頻<10000x）情況下電鏡的理想替代。遠遠超出常規平面檢測（包括電鏡）的范圍。將光學顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術的發展。

光學3D輪廓測量顯微鏡優勢

光學與光譜共焦雙模式提供高精測量

 APO復消色差鏡頭提供超高解析度

多功能程控光源滿足復雜檢測要求

自動平臺支持3D光學拼接與3D測量

一體可視化設計滿足自動操作要求

鏡頭技術：

12X-7000X ZOOM技術實現精準變倍

防眩光設計保證圖像采集的精準性

光譜共焦技術極大提升Z向分辨率

快速物鏡更換裝置提升檢測效率

電動變焦鏡頭防止人為誤差

連續變倍鏡頭LY-WN-LENS400視頻連續手動、電動變倍，自動識別倍數:

LENS物鏡成像要求：顯微鏡物鏡分辨率是顯微成像的根本保證，本系統采用的數值孔徑N.A值從0.015----0.9（空氣介質）在正確照明下，能夠得到邊緣犀利，細節豐富的高分辨顯微圖像

APO復消色差技術的鏡頭:

APO復消色差技術，有效的解決了鏡頭的色差、色散以及二級光譜，并進一步提升了成像質量，將光學分辨率提升接近理論極限

LDM長工作距離技術之優勢:

系統采用超長工作距離鏡頭，在保證分辨率為1μ的情況下，工作距離達到34mm，除了能防止損壞、觀察深孔槽之外，為系統的拓展性提供了良好基礎。

光譜共焦鏡頭:

基于白光色散技術的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應性，即使在光滑的玻璃表面，研磨后的鏡面材料，均能實現有效的測量，其Z向分辨率可達到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實現大面積準確輪廓測量。得到的模型更可與光學景深圖像融合，最終得到計量級的彩色3D模型。

顯微照明ILLUMINATION技術要求：

優質的光源是數碼成像的基礎之一，正確匹配的照明模式是展現樣品細節的必需條件，系統所采用的照明裝置，均為機器視覺系統所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實，形態多樣，長壽命（大于3萬小時），根據不同用途，有多種結構設計，能組建復式照明技術，配合數字消光技術（HDR)，能展現樣品細節。

技術參數：